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中文摘要: 为研究石英玻璃的机械振动能量损耗特性，以石英半球谐振子为实验对象，考察了铣磨、抛光、刻蚀和退火对石英玻璃机械振动能量损耗大小的影响，并分析其作用机理。研究结果表明：对于机械加工成型的石英玻璃，表面损耗占主导作用，亚表面损伤是造成表面损耗的主要原因；退火可以消除机械应力，降低石英玻璃的“假想温度”，改善石英玻璃的结构稳定性，减小本征损耗。
Abstract:In order to study the mechanical vibration energy loss characteristics of fused silica, the influence of surface treatments and annealing on mechanical energy loss of fused silica is investigated by using hemispherical resonator as an experimental object, and its mechanism is analyzed. The results show that: for the machined fused silica, the surface loss is dominant, and the subsurface damage is the main cause of surface loss; annealing can eliminate the mechanical stress induced by machining, reduce the "imaginary temperature" of fused silica, improve its structural stability and reduce the intrinsic loss.
keywords: fused silica mechanical energy loss mechanical quality factor hemispherical resonator intrinsic loss surface loss
文章编号：20210111 中图分类号：TB321 文献标志码：A
基金项目:
| 作者 | 单位 |
| 张晓强 | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 潘 瑶 | 国防科技大学 前沿交叉学科学院 |
| 杜秀蓉 | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 孙元成 | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 宋学富 | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 花 宁 | 中建材衢州金格兰石英有限公司 |
| 祖成奎 | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
引用文本：
张晓强,潘 瑶,杜秀蓉,孙元成,宋学富,花 宁,祖成奎.石英玻璃的机械振动能量损耗特性[J].飞控与探测,2021,(1):92-97.
张晓强,潘 瑶,杜秀蓉,孙元成,宋学富,花 宁,祖成奎.石英玻璃的机械振动能量损耗特性[J].飞控与探测,2021,(1):92-97.