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DOI:
飞控与探测:2021,(5):9-20
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面外轴向检测MEMS加速度计研究现状
马智康1,刘国文2,李兆涵1,刘福民1,徐宇新1
(1.北京航天控制仪器研究所;2.北京航天控制仪器研究所 浙江大学 航空航天学院)
Research Status of Out-of-Plane Axial Detection MEMS Accelerometer
MA Zhikang1, LIU Guowen1,2, LI Zhaohan1, LIU Fumin1, XU Yuxin1
(1.Beijing Institute of Aerospace Control Device;2.School of Aeronautics and Astronautics, Zhejiang University)
摘要
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中文摘要: 面外轴向检测微机电系统(MEMS)加速度计(Z轴MEMS加速度计)是MEMS惯性系统中用于提供面外加速度信号的重要器件。文章首先介绍了Z轴加速度计的两种典型结构,列举了国内外科研机构近年来的研究成果,概述其在结构设计、工艺制造等方面的特点,以及在性能指标、三轴单片集成等方面的进展。最后,结合Z轴MEMS加速度计的研究现状,对其在结构优化、性能提升、工艺制造、单片三轴集成等方向的发展进行了展望。
中文关键词: 微机电系统;面外加速度计;Z轴加速度计;三轴加速度计;研究现状
Abstract:Out-of-plane axial detection accelerometer (Z-axis MEMS accelerometer) is an important device used to provide out-of-plane acceleration in a micro-inertial system. Firstly, two typical structures of Z-axis accelerometer are introduced, and the research results of domestic and foreign research institutions in recent years are listed. The characteristics of Z-axis accelerometer in structural design, process manufacturing, performance index and three-axis monolithic integration are summarized. Finally, combined with the recent research status of the Z-axis MEMS accelerometer, the development in the direction of size optimization, performance optimization, process progress, monolithic three-axis integration, etc. is prospected.
keywords: MEMS; out-of-plane accelerometer; Z-axis accelerometer; three-axis accelerometer; research status
文章编号:20210502     中图分类号:U666.12-2    文献标志码:A
基金项目:国家重点研发计划课题(2016YFB0501300,2016YFB0501303)
作者单位
马智康 北京航天控制仪器研究所 
刘国文 北京航天控制仪器研究所 浙江大学 航空航天学院 
李兆涵 北京航天控制仪器研究所 
刘福民 北京航天控制仪器研究所 
徐宇新 北京航天控制仪器研究所 
Author NameAffiliation
MA Zhikang Beijing Institute of Aerospace Control Device 
LIU Guowen Beijing Institute of Aerospace Control Device; School of Aeronautics and Astronautics, Zhejiang University 
LI Zhaohan Beijing Institute of Aerospace Control Device 
LIU Fumin Beijing Institute of Aerospace Control Device 
XU Yuxin Beijing Institute of Aerospace Control Device 
引用文本:
马智康,刘国文,李兆涵,刘福民,徐宇新.面外轴向检测MEMS加速度计研究现状[J].飞控与探测,2021,(5):9-20.

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